[发明专利]一种具有三明治夹心结构敏感薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 201810630698.3 申请日: 2018-06-19
公开(公告)号: CN109060890B 公开(公告)日: 2022-05-06
发明(设计)人: 卢靖;谢雷;赵振宇;王林博;梁晨;牟妍蓉 申请(专利权)人: 陕西科技大学
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 安彦彦
地址: 710021 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种具有三明治夹心结构敏感薄膜的制备方法,先配制CoTiO3前驱体溶液和氧化石墨烯的乙醇悬浮液,然后采用浸渍‑提拉法在Si基片表面镀CoTiO3前驱体薄膜,再在CoTiO3前驱体薄膜上镀GO膜层,然后在CoTiO3前驱体/GO薄膜上镀CoTiO3膜层,最后煅烧,得到三明治结构的CoTiO3/rGO/CoTiO3敏感薄膜。所得薄膜在低于100℃工作条件下,对乙醇气体表现出较高的灵敏性和选择性。
搜索关键词: 一种 具有 三明治 夹心 结构 敏感 薄膜 制备 方法
【主权项】:
1.一种具有三明治夹心结构敏感薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:1)配制溶胶:将氯化钴溶解于无水乙醇中,随后滴加钛酸异丁酯,搅拌均匀,调节pH值为2.0~6.0,得到混合溶液,将混合溶液在20~80℃下反应30~150min,得到CoTiO3前驱体溶液;2)将氧化石墨烯均匀分散在无水乙醇中,超声后得到氧化石墨烯的乙醇悬浮液,3)采用浸渍‑提拉法在Si基片表面镀多层膜,获得CoTiO3前驱体薄膜;4)在CoTiO3前驱体薄膜上镀一层或多层GO膜层,获得CoTiO3前驱体/GO薄膜;5)在CoTiO3前驱体/GO薄膜上镀多层CoTiO3前驱体膜层,获得CoTiO3前驱体/GO/CoTiO3前驱体薄膜;6)将CoTiO3前驱体/GO/CoTiO3前驱体薄膜煅烧,得到三明治结构的CoTiO3/rGO/CoTiO3敏感薄膜。
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