[发明专利]管嘴末端适配器、管嘴组件以及管嘴有效
| 申请号： | 201810637857.2 | 申请日： | 2018-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN109092592B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·格伦德;加里·肖凯特;卡德·梅基亚斯 | 申请（专利权）人： | 苏斯微技术光刻有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B14/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王瑞朋;胡彬 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了管嘴末端适配器、管嘴组件以及管嘴。管嘴末端适配器(12)具有抽吸管道(34)、供给管道(36)以及具有装置端部(18)和基板端部(20)的基部本体(16)。基部本体(16)具有在其基板端部(20)处的用于容纳管嘴末端(14)的管嘴末端凹入部(26)以及延伸到管嘴末端凹入部(26)中的突出部分(30)，其中抽吸管道(34)延伸穿过突出部分(30)，并且供给管道(36)通向管嘴末端凹入部(26)，其中抽吸管道(34)至少部分地被供给管道(36)围绕。此外，示出了管嘴组件(10)和管嘴(60)。 | ||
| 搜索关键词： | 末端 适配器 组件 以及 | ||
【主权项】：
1.一种用于将管嘴末端(14)安装到基板处理装置的管嘴末端适配器，所述管嘴末端适配器包括抽吸管道(34)、供给管道(36)以及具有装置端部(18)和基板端部(20)的基部本体(16)，其中，所述抽吸管道(34)和所述供给管道(36)设置在所述基部本体(16)中，所述基部本体(16)具有在其基板端部(20)处的用于容纳所述管嘴末端(14)的管嘴末端凹入部(26)以及延伸到所述管嘴末端凹入部(26)中的突出部分(30)，其中，所述抽吸管道(34)延伸穿过所述突出部分(30)，并且所述供给管道(36)通向所述管嘴末端凹入部(26)，其中，所述抽吸管道(34)至少部分地被所述供给管道(36)环绕。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏斯微技术光刻有限公司，未经苏斯微技术光刻有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810637857.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于喷漆机的薄壁铝管下料装置
- 下一篇：管道表面喷涂设备
