[发明专利]镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法有效
| 申请号： | 201810645978.1 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN108807129B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 郭建利 | 申请（专利权）人： | 北京蜃景光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 崔振 |
| 地址： | 100000 北京市海淀区中*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法，涉及有机镀膜技术领域，包括：转动驱动装置、水平驱动装置、旋转平台、反射镜和激光发射器。通过激光发射器向反射镜发射激光，利用反射镜将激光反射到有机镀膜腔室的内壁上，对有机镀膜腔室内壁进行清洗，并且通过转动驱动装置带动旋转平台上的反射镜转动，通过水平驱动装置带动反射镜相对于旋转平台移动，改变激光发射方向，对有机镀膜腔室的内壁进行全方位进行，缓解了现有技术中存在的传统的清洗有机镀膜腔室内壁方法费工费时，严重影响生产进度的技术问题，实现了快速对有机镀膜腔室内壁清洗的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜腔室清洗装置，其特征在于，包括：转动驱动装置、水平驱动装置、旋转平台、反射镜和激光发射器；所述转动驱动装置、所述水平驱动装置、所述旋转平台、所述反射镜和所述激光发射器均设置于有机镀膜腔室内，且所述激光发射器和所述转动驱动装置均与有机镀膜腔室的底部连接；所述旋转平台设置于所述激光发射器的上方，所述水平驱动装置与所述旋转平台远离所述激光发射器的一端连接，所述水平驱动装置与所述反射镜传动连接，所述激光发射器发射的激光穿过所述旋转平台照射到所述反射镜上，所述反射镜用于将所述激光发射器发射的激光反射到有机镀膜腔室的内壁上，以清洁有机镀膜腔室内壁，所述水平驱动装置用于带动所述反射镜相对于所述旋转平台移动，以改变所述反射镜反射激光的方向；所述转动驱动装置与所述旋转平台传动连接，所述转动驱动装置用于带动所述旋转平台转动，以改变所述反射镜反射激光的方向。
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