[发明专利]一种真空蒸镀装置在审
| 申请号： | 201810646031.2 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110629162A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 苏艳波;宋永明 | 申请（专利权）人： | 深圳市永盛隆科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 11662 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 518112 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种真空蒸镀装置。所述蒸镀装置包括蒸镀腔体和驱动机构；所述蒸镀腔体的底板上开设有供蒸镀源通过的第一通孔，所述驱动机构可驱动所述蒸镀源穿过所述第一通孔，并在所述蒸镀腔体内上下移动。本发明的真空蒸镀装置，其纵向驱动机构可驱动蒸镀源穿过第一通孔，并在蒸镀腔体内上下移动，从而达到调节蒸镀源与蒸镀腔体内基片之间距离的目的，继而达到合理控制镀膜厚度的目的，提高了镀膜效率和镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀源 蒸镀腔 通孔 真空蒸镀装置 驱动机构 上下移动 蒸镀腔体 体内 镀膜 穿过 底板 纵向驱动机构 驱动 镀膜效率 真空镀膜 蒸镀装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括：/n蒸镀腔体，所述蒸镀腔体的底板上开设有供蒸镀源通过的第一通孔；/n驱动机构，所述驱动机构可驱动所述蒸镀源穿过所述第一通孔，并在所述蒸镀腔体内上下移动。/n
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