[发明专利]一种脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法

摘要

本发明公开了一种脱脂‑烧结一体式生产ITO靶材的方法，包括以下步骤：1)将ITO粉体、分散剂和水混合，进行球磨，再加入粘结剂，进行超声和真空脱泡，得到浆料；2)将浆料注入模具，进行成型，得到靶坯，脱模，对靶坯进行干燥；3)将靶坯放在脱脂‑烧结一体式炉内的承烧板上，进行程序升温和程序降温，得到ITO靶材。本发明在进行靶坯致密化的过程中，将靶坯从脱脂的最高温度直接升温进行温度更高的烧结，省略了靶坯脱脂后的冷却、转移和再升温过程，脱脂和烧结的效率显著提高，且消除了靶坯在脱脂炉和烧结炉之间转移而造成的开裂，提高了生产效益，有利于ITO靶材的大批量生产。

主权项

1.一种脱脂‑烧结一体式生产ITO靶材的方法，其特征在于：包括以下步骤：1)将ITO粉体、分散剂和水混合，进行球磨，再加入粘结剂，进行超声和真空脱泡，得到浆料；2)将浆料注入模具，进行成型，得到靶坯，脱模，对靶坯进行干燥；3)将靶坯放在脱脂‑烧结一体式炉内的承烧板上，进行致密化，具体操作为：a)以0.15～0.5℃/min的速率从室温升到100～200℃，同时通入流量为100～300L/min的干燥空气；b)以0.2～0.4℃/min的速率升到350～400℃，保温2～4h，同时通入流量为100～300L/min的干燥空气；c)以1～3℃/min的速率升到500～700℃，保温1～3h，同时通入流量为100～300L/min的干燥空气；d)以2～3℃/min的速率升到900～1100℃，保温1～2h，同时通入流量为300～800L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；e)以1～3℃/min的速率升到1180～1400℃，保温1～2h，同时通入流量为300～800L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；f)以1.5～2.5℃/min的速率升到1400～1500℃，同时通入流量为300～800L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；g)以6～8℃/min的速率升到1500～1700℃，保温4～20h，同时通入流量为300～800L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；h)以1～2℃/min的速率降到1300～1500℃，保温1～3h，同时通入流量为300～800L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；i)以0.5～3℃/min的速率降到1100～1300℃，同时通入流量为300～800L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；j)以0.3～0.5℃/min的速率降到900～1100℃，保温1～2h，同时通入流量为0～300L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；k)以0.1～0.5℃/min的速率降到室温，得到ITO靶材。