[发明专利]无机薄膜及其制备方法、应用以及薄膜封装结构和显示面板

摘要

本申请提供一种无机薄膜的制备方法及其应用，包括以下步骤：采用PEVCD以2600W～3400W的射频功率沉积形成第一粗糙表膜；采用PEVCD以1800W～2200W的射频功率在第一粗糙表膜上沉积形成致密主膜。本申请还提供一种薄膜封装结构和显示面板。上述薄膜封装结构，包括层叠设置的至少两个无机薄膜和设置在相邻两个无机薄膜之间的有机薄膜，每个有机薄膜至少有一面与无机薄膜的粗糙表面接触，可有效减少折弯过程中的剥离现象，且无机薄膜中又具有致密主膜，能有效阻挡水氧，封装效果好。

主权项

1.一种无机薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：采用等离子化学气相沉积法以2600W～3400W的射频功率沉积形成第一粗糙表膜；采用等离子化学气相沉积法以1800W～2200W的射频功率在所述第一粗糙表膜上沉积形成致密主膜。