[发明专利]用于处于加工状态的工件的防护的保护膜及其应用在审
| 申请号： | 201810659707.1 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN110628351A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 周亮吉;范珩 | 申请（专利权）人： | 上海海优威新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09J7/29 | 分类号： | C09J7/29;C09J7/38;C09J151/00 |
| 代理公司： | 31002 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁;郑暄 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国(上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于处于加工状态的工件的防护的保护膜，所述的保护膜粘附于所述的工件的表面，所述的保护膜依次包括：基材层，包括聚氯乙烯层和聚丙烯酸酯层；粘合剂层，所述的基材层中的聚丙烯酸酯层邻近所述的粘合剂层设置，所述的粘合剂包括乙烯基硅氧烷和丙烯酸酯；以及离型层，包括与所述的粘合剂层邻近设置的离型面；所述的保护膜在成膜后经过电子束辐照处理使得所述的粘合剂层中的乙烯基硅氧烷和丙烯酸酯发生交联反应。本发明的耐高温保护膜可用于半导体晶圆的研磨、玻璃屏幕或有机玻璃屏幕制品的切削、钢板的切割加工等高精度工件的制程保护。 | ||
| 搜索关键词： | 粘合剂层 保护膜 聚丙烯酸酯层 乙烯基硅氧烷 丙烯酸酯 基材层 电子束辐照处理 耐高温保护膜 有机玻璃屏幕 半导体晶圆 聚氯乙烯层 粘合剂 玻璃屏幕 加工状态 交联反应 邻近设置 切割加工 研磨 离型层 离型面 切削 成膜 等高 可用 粘附 制程 钢板 邻近 防护 | ||
【主权项】：
1.一种用于处于加工状态的工件的防护的保护膜，所述的保护膜可移除地粘附于所述的工件的表面，其特征在于，所述的保护膜依次包括：/n基材层，包括聚氯乙烯层和聚丙烯酸酯层；/n粘合剂层，所述的基材层中的聚丙烯酸酯层邻近所述的粘合剂层设置，所述的粘合剂包括乙烯基硅氧烷和丙烯酸压敏胶；以及/n离型层，包括与所述的粘合剂层邻近设置的离型面；/n所述的保护膜在成膜后经过电子束辐照处理使得所述的粘合剂层中的乙烯基硅氧烷和丙烯酸压敏胶发生交联反应。/n
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