[发明专利]产酸剂和含有其的光刻胶有效
| 申请号： | 201810661387.3 | 申请日： | 2014-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN108983549B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | E·阿恰达;I·考尔;刘骢;C-B·徐 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 产酸剂和含有其的光刻胶。本发明提供了产酸剂化合物，其包含氧代‑1,3‑二氧戊环部分和/或氧代‑1,3‑二噁烷部分。所述产酸剂特别用作光刻胶组合物的组份。 | ||
| 搜索关键词： | 产酸剂 含有 光刻 | ||
【主权项】：
1.含有氧代‑1,3‑二氧戊环部分和/或氧代‑二噁烷部分的光致产酸剂。
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