[发明专利]一种用于同一波段多路激光合束的自动对准装置有效
申请号: | 201810661778.5 | 申请日: | 2018-06-25 |
公开(公告)号: | CN108919480B | 公开(公告)日: | 2020-07-21 |
发明(设计)人: | 郭劲;徐新行;韩旭东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G02B27/09;G02B27/10 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提供了一种用于同一波段多路激光合束的自动对准装置,所述装置包括第一激光器、第一快反镜组件、第二激光器、第二快反镜组件、第一合束镜、分光镜、平行光管、缩束系统和控制器。该装置利用同一台平行光管分别监测同一波段范围内多路发射激光的角度误差,进而闭环控制相应的二维摆镜,实现各路发射光束与基准光路的自动调整平行;以及利用同一台缩束系统分别监测同一波段范围内多路发射光束的位置误差,进而闭环控制相应的一维平移台,实现其中一路发射光束位置与其他路发射光束位置的自动调整重合。本发明有效减少了探测器的数量,降低了制造成本,并且确保了监测基准的统一,有利于多路激光合束对准精度的提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 同一 波段 激光 自动 对准 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于同一波段多路激光合束的自动对准装置,其特征在于,所述装置包括:第一激光器、第一快反镜组件、第二激光器、第二快反镜组件、第一合束镜、第一导光镜、分光镜、平行光管、缩束系统和控制器;所述第一快反镜组件包括第一平移台、第一二维摆台、第一反射镜;所述第一反射镜设置于第一二维摆台上,所述第一二维摆台设置于第一平移台上;所述第二快反镜组件包括第二平移台、第二二维摆台、第二反射镜;所述第二反射镜设置于第二二维摆台上,所述第二二维摆台设置于第二平移台上;所述控制器分别与第一平移台、第一二维摆台、第二平移台、第二二维摆台、平行光管、缩束系统连接;所述第一激光器发出的第一激光经过第一反射镜进入第一合束镜,所述第二激光器发出的第二激光经过第二反射镜反射后进入第一合束镜,第一激光和第二激光在第一合束镜位置进行合束,形成合光束;所述第一导光镜设置于第一合束镜与分光镜之间;合光束经第一导光镜的透射部分为监视光束,监视光束经分光镜后,形成第一监视光束和第二监视光束,第一监视光束进入平行光管,第二监视光束进入缩束系统;所述平行光管用于检测第一激光、第二激光分别与基准光路的角度偏差,并生成第一反馈信息;所述缩束系统用于检测第一激光与第二激光之间的位置偏差,并生成第二反馈信息;所述控制器用于接收第一反馈信息,并根据第一反馈信息实时调节第一二维摆台和第二二维摆台的倾斜角度,直至第一激光、第二激光分别与基准光路的角度偏差在第一预设误差范围内;以及用于接收第二反馈信息,并根据第二反馈信息实时调节第一平移台和第二平移台的坐标位置,直至第一激光和第二激光的位置偏差在第二预设误差范围内。
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