[发明专利]一种平板杂质快检装置以及平板杂质的检测方法在审
| 申请号： | 201810679412.0 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN108802058A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 桑浩;颜天信;唐麟;汪洪波 | 申请（专利权）人： | 合肥泰禾光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴迪 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种平板杂质快检装置以及平板杂质的检测方法，涉及平板检测领域，该平板杂质快检装置，包括基板承载台、光学探头、平行光发生器、干涉透光板以及处理器；平行光发生器设置在基板承载台的上方，用于生成平行光并将平行光照射至待测基板；干涉透光板设置在基板承载台与平行光发生器之间并能够与待测基板呈夹角设置；光学探头设置在干涉透光板的上方并与处理器电连接，用于采集干涉条纹的图像信息并传递至处理器；处理器用于依据图像信息生成杂质位置数据和杂质面积数据。相较于现有技术，本发明提供的一种平板杂质快检装置，能够快速准确地检测灰尘并能够确定灰尘尺寸，检测过程方便快捷，大大提高了检测效率与检测准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 处理器 检测 平行光发生器 基板承载台 透光板 待测基板 光学探头 平行光 干涉 图像信息生成 准确度 干涉条纹 夹角设置 面积数据 平板检测 图像信息 杂质位置 电连接 照射 采集 传递 | ||
【主权项】：
1.一种平板杂质快检装置，其特征在于，包括基板承载台、光学探头、平行光发生器、干涉透光板以及处理器，所述基板承载台用于承载待测基板；所述平行光发生器设置在所述基板承载台的上方，用于生成平行光并将所述平行光照射至所述待测基板；所述干涉透光板设置在所述基板承载台与所述平行光发生器之间并能够与所述待测基板呈夹角设置，用于透过所述平行光并生成干涉条纹；所述光学探头设置在所述干涉透光板的上方并与所述处理器电连接，用于采集所述干涉条纹的图像信息并传递至所述处理器；所述处理器用于依据所述图像信息生成杂质位置数据和杂质面积数据。
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