[发明专利]一种光分路器的晶圆贴片装置

摘要

本发明公布了一种光分路器的晶圆贴片装置，它包括机架、设置在机架上的贴片工作台，贴片工作台上开设有通孔，机架的侧部固定有气缸，气缸的活塞杆连接滑座，滑座的两侧设有带座轴承和伺服电机，丝杆轴安装在带座轴承和伺服电机上，丝杆轴与滑板螺纹连接，滑板与贴片机构连接；滑座下固定有齿板，机架上设置有活动转轴，活动转轴设置有齿轮、轴径上安装有轴套，齿轮与齿板啮合连接，轴套上设置有胶刷；位于轴套的下端设置有上胶机构，本发明的目的是针对以上问题，提供一种光分路器的晶圆贴片装置，利用气缸使贴片机构下降的同时，完成对玻璃盖板的刷胶任务，完成了半自动贴片任务，提高了晶圆的贴片效率和质量。

主权项

1.一种光分路器的晶圆贴片装置，其特征在于，它包括机架（1）、设置在机架（1）上的贴片工作台（16），所述贴片工作台（16）上开设有放置晶圆片（18）和玻璃盖板（17）的两个通孔（161），所述机架（1）的侧部固定有气缸（2），所述气缸（2）的活塞杆（3）连接滑座（4），所述滑座（4）的两侧设有带座轴承（5）和伺服电机（6），丝杆轴（7）安装在带座轴承（5）和伺服电机（6）上，所述丝杆轴（7）与滑板（8）螺纹连接，所述滑板（8）穿过滑座（4）的开口（401）与贴片机构（9）连接，所述的贴片机构（9）位于通孔（161）的上端；在所述滑座（4）的下底板上固定有齿板（10），机架（1）上设置有活动转轴（12），所述活动转轴（12）的两侧设置有齿轮（11）、轴径上安装有轴套（13），所述的齿轮（11）与齿板（10）啮合连接，轴套（13）上设置有胶刷（14），所述的胶刷（14）位于玻璃盖板（17）所放置的通孔（161）内；位于轴套（13）的下端设置有上胶机构（15）。