[发明专利]一种曝边机有效
| 申请号： | 201810686676.9 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN108828905B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 王威 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种曝边机，该曝边机包括：送风机构和曝光腔室；曝光腔室的顶壁设置有进气口，送风机构用于通过进气口向曝光腔室内输送气体；曝光腔室的底壁设置有第一排放口，以使得曝光腔室内的残留物通过第一排放口排出曝光腔室。通过上述方式，本申请可以为曝光制程提供良好的环境，减少曝光过程产生的PR残留，进而提高显示面板的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝边机 | ||
【主权项】：
1.一种曝边机，其特征在于，包括：送风机构和曝光腔室；所述曝光腔室的顶壁设置有进气口，所述送风机构用于通过所述进气口向所述曝光腔室内输送气体；所述曝光腔室的底壁设置有第一排放口，以使得所述曝光腔室内的残留物通过所述第一排放口排出所述曝光腔室。
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