[发明专利]用于形成图案的设备有效
| 申请号： | 201810693050.0 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN109216231B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 张宰荣;薛捧浩 | 申请（专利权）人： | 灿美工程股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道龙*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于形成图案的设备。用于形成图案的设备包含：支撑单元，加工对象安放于支撑单元上；喷嘴单元，安置于支撑单元上以排出溶液；块夹具，安置于支撑单元上且具有安装孔以便安装喷嘴单元；以及固定构件，将喷嘴单元限定在安装孔内。因此，当替换喷嘴时，喷嘴在位置可重复性上可得到改进。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 图案 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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