[发明专利]一种自动下蜡设备在审
申请号: | 201810693475.1 | 申请日: | 2018-06-29 |
公开(公告)号: | CN108807238A | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 胡世珍 | 申请(专利权)人: | 芜湖源码自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 胡定华 |
地址: | 241000 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种自动下蜡设备,包括基座,所述基座上设有伸缩式支撑杆,所述支撑杆上向左方伸出有万向轴,所述万向轴左端连接有伸缩式水平手臂,所述水平手臂左端连接有垂直手臂,所述垂直手臂底部下方设有3个真空吸盘,所述3个真空吸盘底部均连接有密封管,所述基座右方设有真空泵,所述真空泵通过密封管与真空吸盘相通,所述真空泵右方设有电机,所述电机与支撑杆、万向轴、水平手臂相连,所述支撑杆与水平手臂、垂直手臂上均设有卡扣,所述密封管横截面直径之和小于卡扣直径,本发明通过耐高温橡胶真空吸盘吸附圆片芯片背面,减小了在下蜡过程中的破片概率,提高了生产良率。 | ||
搜索关键词: | 水平手臂 真空吸盘 密封管 万向轴 真空泵 支撑杆 手臂 垂直 卡扣 左端 电机 伸缩式支撑杆 耐高温橡胶 芯片背面 伸缩式 减小 良率 破片 吸附 圆片 相通 伸出 概率 生产 | ||
【主权项】:
1.一种自动下蜡设备,包括基座(1),其特征在于:所述基座(1)上设有伸缩式支撑杆(2),所述支撑杆(2)上向左方伸出有万向轴(3),所述万向轴(3)左端连接有伸缩式水平手臂(4),所述水平手臂(4)左端连接有垂直手臂(5),所述垂直手臂(5)底部下方设有3个真空吸盘(6),所述3个真空吸盘(6)底部分别连接有1个密封管(7),所述基座(1)右方设有真空泵(8),所述真空泵(8)通过密封管(7)与真空吸盘(6)相通,所述真空泵(8)右方设有电机(9),所述电机(9)与支撑杆(2)、万向轴(3)、水平手臂(4)相连,所述支撑杆(2)与水平手臂(4)、垂直手臂(5)上均设有卡扣(10),所述密封管(7)横截面直径之和小于卡扣(10)直径。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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