[发明专利]传感器、掩模板叉、机械手、掩模板传输系统及光刻机有效
| 申请号： | 201810696848.0 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN110658685B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 唐文力;朱俊宇;吴芬;郑教增;吴钱忠;祝玥华 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种传感器、掩模板叉、机械手、掩模板传输系统及光刻机。该传感器包括稳压模块、光电感应模块、信号放大模块以及信号检测模块；稳压模块与光电感应模块和信号放大模块电连接，用于为光电感应模块和信号放大模块提供恒定电压；光电感应模块用于探测目标物体是否到达设定区域；信号放大模块与光电感应模块电连接，用于对光电感应模块输出的信号进行放大；信号检测模块与稳压模块和信号放大模块均电连接，用于基于信号放大模式输出的信号判断传感器的当前工作状态，当前工作状态包括开路、短路、正常触发以及未触发。本发明实施例提供的传感器可以有效识别当前掩模叉夹持掩膜版与否，进而提高半导体器件的制作良率。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 模板 机械手 传输 系统 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种传感器，其特征在于，包括稳压模块、光电感应模块、信号放大模块以及信号检测模块；/n所述稳压模块与所述光电感应模块和所述信号放大模块电连接，用于为所述光电感应模块和所述信号放大模块提供恒定电压；/n所述光电感应模块用于探测目标物体是否到达设定区域；/n所述信号放大模块与所述光电感应模块电连接，用于对所述光电感应模块输出的信号进行放大；/n所述信号检测模块与所述稳压模块和所述信号放大模块均电连接，用于基于所述信号放大模式输出的信号判断所述传感器的当前工作状态，所述当前工作状态包括开路、短路、正常触发以及未触发。/n
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