[发明专利]一种掩模传输装置和方法

摘要

本发明公开了一种掩模传输装置及方法，所述装置包括：相对放置的外部版库单元及内部版库单元，所述外部版库单元及内部版库单元之间设置有取放版机械手和交换版机械手，且所述取放版机械手和交换版机械手相对放置，所述外部版库单元、内部版库单元、取放版机械手和交换版机械手呈矩形排布结构。采用了系统的安全性措施，确保运动部件，掩模版的安全；采用特殊的机械手结构，提高了机械手和掩模版的可靠性和安全性；掩模传输系统能够检测掩模版的规格，提高了对掩模处理的能力；采用特殊的机械手与交换版手正面交接方式，提高了交接精度；采用了自补偿的第二机械手，提高了掩模传输精度，降低了装调要求。

主权项

1.一种掩模传输装置，包括：相对放置的外部版库单元及内部版库单元，所述外部版库单元及内部版库单元之间设置有取放版机械手和交换版机械手，且所述取放版机械手和交换版机械手相对放置，且所述外部版库单元、内部版库单元、取放版机械手和交换版机械手呈矩形排布；/n所述外部版库单元和内部版库单元均用于接收掩模版，所述外部版库单元包括升降台，所述升降台上安装有掩模版承载台，所述内部版库单元包括版架，在所述版架上设置有密封装置，以密封所述版架；/n所述取放版机械手包括机械手本体，所述机械手本体上安装有第一版叉，以夹持掩模版，所述第一版叉相对所述机械手本体上下滑动以带动掩模版运动；/n所述交换版机械手包括旋转台，所述旋转台上安装有垂向运动机构，所述垂向运动机构下部安装有第二版叉，所述第二版叉可相对所述旋转台转动，以实现掩模版的转动，所述第二版叉下部设置有吸盘，通过所述吸盘吸附所述掩模版。/n