[发明专利]一种转移石墨烯的方法在审
| 申请号： | 201810714966.X | 申请日： | 2018-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN108793146A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 张苗;高敏;韩晓雯;薛忠营;狄增峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国科学院大学 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种转移石墨烯的方法，包括以下步骤：提供一衬底；在所述衬底上生长石墨烯，形成石墨烯/衬底结构；在所述石墨烯上涂敷派瑞林，形成派瑞林/石墨烯/衬底结构；利用腐蚀液去除所述派瑞林/石墨烯/衬底结构中的所述衬底，形成派瑞林/石墨烯结构；将所述派瑞林/石墨烯结构翻转，形成石墨烯/派瑞林结构，完成所述石墨烯的转移。本发明采用派瑞林作为石墨烯的转移介质及支撑层，仅经过一次腐蚀液去除衬底后进行翻转，即可获得高质量、大面积、无损、洁净的石墨烯。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 派瑞林 衬底 衬底结构 腐蚀液 去除 结构翻转 转移介质 支撑层 翻转 涂敷 无损 洁净 生长 | ||
【主权项】：
1.一种转移石墨烯的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：提供一衬底；S2：在所述衬底上生长石墨烯，形成石墨烯/衬底结构；S3：在所述石墨烯上涂敷派瑞林，形成派瑞林/石墨烯/衬底结构；S4：利用腐蚀液去除所述派瑞林/石墨烯/衬底结构中的所述衬底，形成派瑞林/石墨烯结构；S5：将所述派瑞林/石墨烯结构翻转，形成石墨烯/派瑞林结构，完成所述石墨烯的转移。
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