[发明专利]加工装置在审
| 申请号： | 201810717324.5 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN109216235A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 远藤智章;高乘佑 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供加工装置，能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。该加工装置具有：操作面板，其显示输入晶片的加工条件的输入画面(66a)；以及控制单元，其对各构成要素进行控制，控制单元具有：输入画面登记部，其登记有输入画面(66a)；以及蒙版登记部，其按照每个输入画面(66a)登记蒙版(67a)，该蒙版(67a)将输入画面(66a)的规定的区域覆盖而使操作者的输入无法进行，当对蒙版登记部登记该蒙版(67a)时，对输入画面(66a)的要用蒙版覆盖的区域(85)和要去除蒙版的区域(86)进行指定并进行登记。 | ||
| 搜索关键词： | 蒙版 输入画面 加工装置 操作面板 构成要素 加工条件 区域覆盖 输入操作 晶片 去除 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种加工装置，其具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；操作面板，其显示输入该被加工物的加工条件的输入画面；以及控制单元，其对各构成要素进行控制，该加工装置的特征在于，该控制单元具有：输入画面登记部，其登记有多个该输入画面；以及蒙版登记部，其按照每个该输入画面而登记蒙版，该蒙版将该输入画面的规定的区域覆盖而使操作者的输入无法进行，当对该蒙版登记部登记该蒙版时，对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域进行指定而进行登记。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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