[发明专利]一种碱性光刻胶剥离液在审
| 申请号： | 201810717379.6 | 申请日： | 2018-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN108803263A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 刘江华;孙翠侠;贾亚军;潘阳 | 申请（专利权）人： | 昆山欣谷微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种碱性光刻胶剥离液，包括有机醇胺、极性有机溶剂、腐蚀抑制剂、表面活性剂，本发明中的光刻胶剥离液，可以在30℃至100℃下完全去除晶圆表面上的光刻胶残留物，完全去除晶圆表面光刻胶残余物的同时，不腐蚀晶圆基底材料，特别是不腐蚀晶圆背部金属化层Ti/Ni/Ag层，在高温退火之后，能有效防止晶圆背面Ti/Ni/Ag白斑以及色差现象的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻胶剥离液 去除 光刻胶残留物 极性有机溶剂 腐蚀 表面活性剂 腐蚀抑制剂 高温退火 金属化层 晶圆背部 晶圆背面 晶圆表面 色差现象 有机醇胺 残余物 晶圆基 白斑 晶圆 | ||
【主权项】：
1.一种碱性光刻胶剥离液，包括有机醇胺、极性有机溶剂、腐蚀抑制剂、表面活性剂，所述有机醇胺为单乙醇胺、N‑ 二甲基乙醇胺、N‑二乙基乙醇胺、异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、3‑丙醇胺、2‑氨基乙醇胺、乙基二乙醇胺、N‑(2‑氨基乙基)乙醇胺、二甘醇胺中的一种或多种，所述极性有机溶剂为亚砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醇醚中的一种或多种，所述腐蚀抑制剂为含有氮、氧、硫等原子的有机腐蚀抑制剂，其中较佳的为多元醇类，脲类、酚类，唑类和有机羧酸类中的一种或几种，所述表面活性剂聚醚非离子表面活性剂，如NP‑10、AEO9、OP‑10、NP‑8.6、JFC、 Genapol EP2584、 Genapol EP2454、Genapol X080、Rhodoclean EFC&MSC、Pluronic PE6200、Pluronic PE6400、Pluronic PE6800。
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