[发明专利]基板承载台及切割装置在审
| 申请号： | 201810720270.8 | 申请日： | 2018-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN108817686A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘陆;李红;蔡宝鸣 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板承载台，可以包括承载板、凹槽以及防反射层。所述承载板具有承载面，所述承载面能够承载待激光切割的所述基板。所述凹槽形成于所述承载面，且所述凹槽的分布与所述激光切割位置对应。所述防反射层位于所述凹槽表面，且所述防反射层对激光的反射率小于所述承载面对激光的反射率。本发明的基板承载台在凹槽反射的激光能量降低的情况下，可适当降低激光在传输过程中所要求的能量损失，缩短了激光的传输距离，减小了承载板的厚度，从而使承载板的切换更加方便省力，提高了切割效率，同时具有较小厚度的承载板降低了承载台的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 承载板 基板承载台 防反射层 承载面 激光 反射率 承载 激光切割位置 凹槽表面 凹槽形成 传输过程 传输距离 激光能量 激光切割 能量损失 切割效率 切割装置 制造成本 承载台 基板 减小 省力 反射 | ||
【主权项】：
1.一种基板承载台，其特征在于，包括：承载板，具有承载面，所述承载面能够承载待激光切割的所述基板；凹槽，形成于所述承载面，且所述凹槽的分布与所述激光切割位置对应；防反射层，位于所述凹槽表面，且所述防反射层对激光的反射率小于所述承载面对激光的反射率。
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