[发明专利]一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法在审
| 申请号： | 201810722391.6 | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN108623298A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 孙本双;陈杰;曾学云;舒永春;何季麟 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/64 |
| 代理公司： | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人： | 唐维铁 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法，该方法包括，氧化铟粉体、氧化锡粉体研磨混匀，得到混合粉体；混合粉体与料浆液混合，得到料浆；料浆喷雾造粒，在管状靶材模具中冷等静压成型，得到氧化铟锡管状靶材素坯；氧化铟锡管状靶材素坯进行脱脂烧结一体化处理，得到氧化铟锡管状靶材。该方法的烧结温度降低，烧结时间大大缩短，氧化铟锡靶材的晶粒细小、均匀，致密度高，相对密度可达99.7％。 | ||
| 搜索关键词： | 管状靶材 氧化铟锡 烧结 脱脂 一体化制备 混合粉体 料浆 素坯 冷等静压成型 氧化铟锡靶材 氧化锡粉体 氧化铟粉体 一体化处理 喷雾造粒 温度降低 晶粒 研磨 料浆液 混匀 模具 | ||
【主权项】：
1.一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法，其特征在于，将氧化铟锡管状靶材素坯进行一体化脱脂烧结，得到氧化铟锡管状靶材。
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