[发明专利]一种新型晶圆撕膜机在审

专利信息
申请号: 201810727337.0 申请日: 2018-07-05
公开(公告)号: CN108674001A 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 杨雪松;王倩;王丽;朱威莉 申请(专利权)人: 江苏纳沛斯半导体有限公司
主分类号: B32B38/10 分类号: B32B38/10
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 223002 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种新型晶圆撕膜机,包括工作平台、显示屏、撕膜机主体、辅助壳以及撕膜机主体下表面设置的支撑机构,所述撕膜机主体的上表面设置有防护机构,所述防护机构包括限位槽、凹槽、控制盖、轴承、把手、弹性垫片和限位柱,所述工作平台安装设置在撕膜机主体的上表面中间位置处,所述显示屏安装固定于撕膜机主体的侧面;该发明设置有防护机构,控制盖的边缘与凹槽内部的弹性垫片贴合,防止控制盖在关闭时与撕膜机主体碰撞,防止撕膜机主体损伤并增加撕膜机主体的使用寿命,提高撕膜机主体的工作效率,控制盖两侧轴承可防止控制盖在活动时产生异响,并防止控制盖摩擦损伤,增加控制盖的耐用性。
搜索关键词: 撕膜机 控制盖 防护机构 弹性垫片 工作平台 上表面 晶圆 轴承 显示屏安装 主体下表面 凹槽内部 工作效率 摩擦损伤 使用寿命 支撑机构 耐用性 限位槽 限位柱 贴合 异响 显示屏 把手 损伤 侧面
【主权项】:
1.一种新型晶圆撕膜机,包括工作平台(1)、显示屏(2)、撕膜机主体(4)、辅助壳(8)以及撕膜机主体(4)下表面设置的支撑机构,其特征在于:所述撕膜机主体(4)的上表面设置有防护机构,所述防护机构包括限位槽(3)、凹槽(5)、控制盖(6)、轴承(7)、把手(9)、弹性垫片(10)和限位柱(11),所述工作平台(1)安装设置在撕膜机主体(4)的上表面中间位置处,所述显示屏(2)安装固定于撕膜机主体(4)的侧面,所述辅助壳(8)安装固定于撕膜机主体(4)的上侧,所述限位槽(3)对称开设在撕膜机主体(4)的上表面且位于工作平台(1)的两侧,所述凹槽(5)开设在撕膜机主体(4)的上表面边缘位置处且与控制盖(6)的位置相对应,所述弹性垫片(10)安装放置在凹槽(5)的内部,所述轴承(7)对称安装固定在控制盖(6)的两侧,所述控制盖(6)通过轴承(7)与撕膜机主体(4)的上表面连接且控制盖(6)的下表面边缘位置与凹槽(5)卡合,所述把手(9)安装固定在控制盖(6)的侧面中间位置处,所述限位柱(11)对称安装固定在控制盖(6)的下表面并放置在限位槽(3)的内部,所述控制盖(6)的上表面设置有控制机构。
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