[发明专利]一种核反应堆用锆包壳表面金属涂层PVD制备工艺有效
| 申请号： | 201810736912.3 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN108796454B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 杨红艳;张瑞谦;韦天国;邱绍宇 | 申请（专利权）人： | 中国核动力研究设计院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/02 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 廖慧敏 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种核反应堆用锆包壳表面金属涂层PVD制备工艺，解决了现有技术制备出的涂层在涂层厚度、结合力、孔隙率上均达不到核反应堆包壳涂层材料的要求，无法应用到核反应堆包壳涂层材料的制备上的问题。本发明包括(1)对锆包壳基体进行表面前处理；(2)对锆包壳基体表面进行离子清洗；(3)在Ar气氛下，开启Cr弧靶，在锆包壳基体上形成Cr基础层；(4)调整弧电流、偏压、占空比，沉积120S～180S后形成Cr过渡层；(5)调整弧电流、偏压、占空比，沉积2h以上形成Cr超厚涂层；(6)关闭弧源，降温至80℃以下即可。本发明膜基结合力≥80N，涂层结晶度大于95％，锆基体晶粒度﹥9级，涂层锆包壳的耐腐蚀和抗高温氧化能力得到明显提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 核反应堆 用锆包壳 表面 金属 涂层 pvd 制备 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种核反应堆用锆包壳表面金属涂层PVD制备工艺，其特征在于，包括：(1)对锆包壳基体进行表面前处理；(2)将锆包壳基体装在炉腔转架上，再在真空环境下加热，然后对锆包壳基体进行表面离子清洗；(3)在Ar气氛下，开启Cr弧靶，在锆包壳基体上形成Cr基础层；其中，Ar气压为0.2Pa～0.5Pa，偏压为‑600V～‑750V，占空比20％～30％，弧电流为110A～130A，时间为120S～180S；(4)调整弧电流至130A～150A、偏压至‑250V～‑300V、占空比至50％～70％，沉积120S～180S后形成Cr过渡层；(5)调整弧电流至160A～200A、偏压至‑100V～‑140V、占空比至40％～50％，沉积2h以上形成Cr超厚涂层；(6)关闭弧源及相关电源，降温至80℃以下后即可出炉。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国核动力研究设计院，未经中国核动力研究设计院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810736912.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
