[发明专利]通用测试插座、半导体测试装置及测试半导体器件的方法有效
| 申请号： | 201810747408.3 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN109239565B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 山田大典;申东彦 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供通用测试插座、半导体测试装置及测试半导体器件的方法。一种通用测试插座包括：第一子层，所述第一子层包括多个第一直通导体，所述多个第一直通导体以第一节距布置在第一基片中；和第二子层，所述第二子层包括多个第二直通导体，所述第二子层堆叠在所述第一子层上，使得所述多个第一直通导体与所述多个第二直通导体接触，所述多个第二直通导体以第二节距布置在第二基片中，所述第二节距小于或等于所述第一节距。 | ||
| 搜索关键词： | 通用 测试 插座 半导体 装置 半导体器件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通用测试插座，包括：第一子层，所述第一子层包括多个第一直通导体，所述多个第一直通导体以第一节距布置在第一基片中；和第二子层，所述第二子层包括多个第二直通导体，所述第二子层堆叠在所述第一子层上，使得所述多个第一直通导体与所述多个第二直通导体接触，所述多个第二直通导体以第二节距布置在第二基片中，所述第二节距小于或等于所述第一节距。
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