[发明专利]一种声表面波器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种声表面波器件，将叉指换能器母线之间划分为间隙区域、边缘区域以及中间区域，从任一母线指向两条母线之间的方向依次为间隙区域、边缘区域以及中间区域。通过在压电基板与电极之间设置被电极覆盖的山丘层可以使得间隙区域的声波速度大于中间区域的声波速度，并且中间区域的声波速度大于边缘区域的声波速度。通过上述设置可以使得叉指换能器之间传播的波形过滤为活塞波形，从而将非活塞波形的其余波形过滤，进而有效减少声表面波器件的寄生模式，使得声表面波器件具有较高的品质因子。本发明还提供了一种声表面波器件的制备方法，通过该方法做制备的声表面波器件同样具有上述有益效果。

主权项

1.一种声表面波器件，其特征在于，包括压电基板和叉指换能器；所述叉指换能器位于所述压电基板的第一表面；其中，所述叉指换能器包括相对设置的两条母线，两条所述母线之间设置有至少两条电极，所述电极包括与任一所述母线相接触的第一端部、与所述第一端部相对的第二端部以及位于所述第一端部和所述第二端部之间的中间部；所述第二端部与另一所述母线之间具有间隙，所述间隙形成沿所述母线延长线的方向延伸的间隙区域；所述第二端部形成沿所述母线延长线的方向延伸的边缘区域，所述中间部形成沿所述母线延长线的方向延伸的中间区域；所述压电基板的第一表面被所述电极覆盖的区域设置有具有预设体波声速的山丘层，所述电极覆盖所述山丘层，以使所述间隙区域的声波速度大于所述中间区域的声波速度，并且所述中间区域的声波速度大于所述边缘区域的声波速度。