[发明专利]使用聚焦离子束扫描电镜双束系统制备微、纳米结构样品的方法在审
| 申请号： | 201810768481.9 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN108982559A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 杜海峰;王莎莎;田明亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 任岗生 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种使用聚焦离子束扫描电镜双束系统制备微、纳米结构样品的方法。它先于样品的表面沉积比待测区的边缘宽的含有机物的保护层，再将样品切割成与保护层宽度相同的微纳米薄片，接着，先将微纳米薄片切割成横截面为待测形貌的柱状，再对柱状的表面依次使用电子束、离子束沉积含有机物的保护层，最后，先使用离子束将表面覆有含有机物保护层的柱状样品沿其横截面切割成薄片，再使用离子束清理薄片表面的非晶层，制得微、纳米结构样品。它可快速、有效地在块体材料中使用本方法加工出所需形貌和尺寸的样品，以用作如扫描电镜、透射电镜、电输运测量和铁磁共振测试等的样品，是制作各种形貌微、纳米结构样品的普适方法。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米结构 形貌 扫描电镜 保护层 聚焦离子束 双束系统 有机物 离子束 微纳米 柱状 制备 切割 电子束 有机物保护层 电输运测量 离子束沉积 薄片表面 薄片切割 表面沉积 块体材料 铁磁共振 透射电镜 柱状样品 非晶层 有效地 再使用 测试 制作 加工 | ||
【主权项】：
1.一种使用聚焦离子束扫描电镜双束系统制备微、纳米结构样品的方法，包括使用离子束将样品切割成薄片，以及清理薄片表面的非晶层，其特征在于主要步骤如下：步骤1，先于样品的表面沉积比待测区的边缘宽500nm以上的、厚0.5‑2μm的含有机物的保护层，再将样品切割成与保护层宽度相同的微纳米薄片；步骤2，先将微纳米薄片切割成横截面为待测形貌的柱状，再对柱状的表面依次使用电子束沉积厚50‑500nm、离子束沉积厚1‑2μm的含有机物的保护层；步骤3，先使用离子束将表面覆有含有机物保护层的柱状样品沿其横截面切割成50nm‑10μm厚的薄片，再使用离子束清理薄片表面的非晶层，制得微、纳米结构样品。
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