[发明专利]产生气体分析装置和产生气体分析方法有效
| 申请号： | 201810770468.7 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109283264B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 广瀬龙介;秋山秀之;坂井范昭;渡边将史 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;孙明浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供产生气体分析装置和产生气体分析方法，提高气体成分的检测精度而不会使装置大型化。产生气体分析装置(200)具有：气体成分产生部(10)；检测气体成分(G)的检测单元(110)；混合气体流路(41)，将气体成分产生部与检测单元之间连接起来，供气体成分与将气体成分向所述检测单元引导的载气(C)的混合气体(M)流动，产生气体分析装置(200)还具有：分支路(42)，从混合气体流路分支而向外部开放；惰性气体流路(19f)，在分支路的下游侧与混合气体流路在合流部(45)处合流，供惰性气体(T)流动；调整载气的流量(F1)的第一流量调整机构(18v)；调整惰性气体流路中流动的惰性气体的流量(F4)的第二流量调整机构(19v)；流量控制部(216)，控制第二流量调整机构使得向检测单元引导的混合气体的流量成为规定值。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 气体 分析 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种产生气体分析装置，其具有：气体成分产生部，其使包含于试样中的气体成分产生；检测单元，其检测在该气体成分产生部中生成的所述气体成分；以及混合气体流路，其将所述气体成分产生部与所述检测单元之间连接起来，所述气体成分与载气的混合气体在该混合气体流路中流动，其中，该载气将该气体成分向所述检测单元引导，该产生气体分析装置的特征在于，所述产生气体分析装置还具有：分支路，其从所述混合气体流路分支而向外部开放；惰性气体流路，其在比所述分支路靠下游侧的位置与所述混合气体流路在合流部处合流，惰性气体在该惰性气体流路中流动；第一流量调整机构，其对所述载气的流量(F1)进行调整；第二流量调整机构，其对在所述惰性气体流路中流动的所述惰性气体的流量(F4)进行调整；以及流量控制部，其对所述第二流量调整机构进行控制，使得向所述检测单元引导的所述混合气体的流量成为规定的值。
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