[发明专利]一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置在审
| 申请号： | 201810792629.2 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN108619833A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 杨春水;司马超;张坤;曹小康;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 | 申请（专利权）人： | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D47/06 | 分类号： | B01D47/06;B01D53/18 |
| 代理公司： | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138 | 代理人： | 郑直 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，包括水洗腔体、进气口法兰、出气口法兰和出水口法兰，进气口法兰和出气口法兰竖直焊接在水洗腔体的顶部左侧和右侧，出水口法兰竖直焊接在水洗腔体的底部，水洗腔体的下方设有废水箱，废水箱的顶部设有进水口法兰，出水口法兰通过连接管和废水箱的进水口法兰连接，水洗腔体的左侧上部和下部分别水平焊接有喷水口法兰一和喷水口法兰二，水洗腔体的右侧下部水平焊接有喷水口法兰三，喷水口法兰内设有喷头。废气中含有的粉尘经过前端水洗喷淋装置后，粉尘与水结合掉落到装置底部并顺着水流冲洗到废水箱中。 | ||
| 搜索关键词： | 水洗腔 废水箱 喷水口 法兰 出水口法兰 水洗喷淋 出气口法兰 进气口法兰 进水口法兰 粉尘环境 水平焊接 酸性气体 竖直 焊接 粉尘 半导体制造过程 喷头 处理设备 工艺气体 水流冲洗 连接管 掉落 废气 | ||
【主权项】：
1.一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，其特征在于：包括水洗腔体(1)和安装在水洗腔体(1)上的进气口法兰(2)、出气口法兰(3)和出水口法兰(4)，所述进气口法兰(2)和出气口法兰(3)分别竖直焊接在水洗腔体(1)的顶部左侧和右侧，所述出水口法兰(4)竖直焊接在水洗腔体(1)的底部，所述水洗腔体(1)的下方设有废水箱(6)，所述废水箱(6)的顶部焊接有进水口法兰(17)，所述出水口法兰(4)通过连接管(5)和废水箱(6)的进水口法兰(17)连接，所述水洗腔体(1)的左侧上部和下部分别水平焊接有喷水口法兰一(7)和喷水口法兰二(8)，所述水洗腔体(1)的右侧下部水平焊接有喷水口法兰三(9)，所述喷水口法兰一(7)、喷水口法兰二(8)和喷水口法兰三(9)内设有喷头(15)。
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