[发明专利]一种双工位直投式光刻机及其曝光方法

摘要

本发明公开了一种双工位直投式光刻机及其曝光方法，包括底座、输送带、Y向线性导轨、第一驱动龙门、第二驱动龙门、第一X向轴、第二X向轴和镜筒组，底座上设有输送带，输送带内设有第一吸盘和第二吸盘，底座上位于输送带一侧设有Y向线性导轨，Y向线性导轨上连接有第一驱动龙门和第二驱动龙门，第一驱动龙门上设有第一X向轴，第一X向轴上设有对位相机A和对位相机B，第二驱动龙门上设有第二X向轴，第二X向轴上设有二次对位相机A和二次对位相机B，二次对位相机A和二次对位相机B之间设有镜筒组，本发明采用双工位双驱动形式，分离了预对位和二次对位，曝光和对位在两个工位上完成，结构稳定，曝光效率高，大幅度提高了生产效率。

主权项

1.一种双工位直投式光刻机，其特征在于：包括底座、输送带、Y向线性导轨、第一驱动龙门、第二驱动龙门、第一X向轴、第二X向轴和镜筒组，所述底座上设有输送带，所述输送带内设有第一吸盘和第二吸盘，所述底座上位于输送带一侧设有Y向线性导轨，所述Y向线性导轨上连接有可沿Y向线性导轨Y方向滑动的第一驱动龙门和第二驱动龙门，所述第一驱动龙门和第二驱动龙门位于输送带外侧，所述第一驱动龙门上设有第一X向轴，所述第一X向轴上设有可沿第一X向轴X方向滑动的对位相机A和对位相机B，所述对位相机A和对位相机B均可沿第一X向轴Z方向滑动，所述第二驱动龙门上设有第二X向轴，所述第二X向轴上设有可沿第二X向轴X方向滑动的二次对位相机A和二次对位相机B，所述二次对位相机A和二次对位相机B之间设有可沿第二X向轴X方向滑动的镜筒组，所述二次对位相机A、二次对位相机B和镜筒组均可沿第二X向轴Z方向滑动。