[发明专利]缺陷检查系统及缺陷检查方法有效

专利信息
申请号: 201810793863.7 申请日: 2018-07-18
公开(公告)号: CN109297971B 公开(公告)日: 2022-10-21
发明(设计)人: 尾崎麻耶;广濑修 申请(专利权)人: 住友化学株式会社
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/01
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 刘建
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供缺陷检查系统及缺陷检查方法。在缺陷检查系统(1)中,由摄像部(3)拍摄出在输送方向(X)上亮度发生变化的二维图像,由列分割处理部(9)处理成使二维图像的相同位置的列依照时间序列的顺序排列而成的列分割图像的图像数据,由分类部(10)将不同的亮度的列分割图像分类为多个列分割图像组,由合并部(11)将在列分割图像中对检查对象(T)的相同位置进行拍摄得到的图像数据的像素值彼此合并,按列分割图像组生成图像合并数据,由分割输出部(12)按照预先设定的规则对图像合并数据进行分割并输出,按基于预先设定的规则进行的分割而使图像合并数据的图像的呈现方式不同,容易识别缺陷的类别。
搜索关键词: 缺陷 检查 系统 方法
【主权项】:
1.一种缺陷检查系统,其特征在于,具备:光源,其向检查对象照射光;摄像部,其按离散时间拍摄二维图像,该二维图像基于从所述光源向所述检查对象照射并透过所述检查对象或在所述检查对象上反射后的所述光而形成;输送部,其将所述检查对象相对于所述光源及所述摄像部沿着输送方向相对地输送;以及图像处理部,其对由所述摄像部拍摄出的所述二维图像的图像数据进行处理,所述摄像部拍摄出在与所述二维图像的所述输送方向一致的方向上亮度发生变化的所述二维图像,所述图像处理部具有:列分割处理部,其将所述二维图像处理成列分割图像的所述图像数据,所述列分割图像通过将所述二维图像分割为沿着所述输送方向排列的多个列、并使由所述摄像部按所述离散时间拍摄出的所述二维图像各自中的相同位置的所述列依照时间序列的顺序排列而成;分类部,其将由所述列分割处理部处理得到的各所述列分割图像按照预先设定的规则分类为两个以上的列分割图像组;合并部,其针对由所述分类部分类到相同的所述列分割图像组的各所述列分割图像,将对所述检查对象的相同位置进行拍摄得到的所述图像数据的像素的值彼此合并,按所述列分割图像组生成图像合并数据;以及分割输出部,其将由所述合并部按所述列分割图像组生成的所述图像合并数据按照预先设定的规则进行分割并输出。
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