[发明专利]透射波前检测干涉仪

摘要

一种透射波前检测干涉仪，包括：光源单元、传输光纤、准直单元、第一转折镜、被测介质、第二转折镜、汇聚镜、波前检测单元和控制单元；该干涉仪采用光纤进行光路布局，具有结构简单，易于装调、抗干扰性强、信号强度可调等优点，并且，系统进行双波长测量扩展时，采用准直单元双色分光镜、干涉仪单元双色分光镜，能够方便、低成本的建立双波长透射波前检测系统。

主权项

1.一种透射波前检测干涉仪，其特征在于其构成包括：光源单元(1)、传输光纤(1‑O)、准直单元(2)、第一转折镜(3)、被测介质(4)、第二转折镜(5)、汇聚镜(6)、波前检测单元(9)和控制单元(10)，上述各组成部分的位置与连接关系是：光源单元(1)输出光通过传输光纤(1‑O)输入准直单元(2)，准直单元(2)将输入光准直为平行光输出；准直单元(2)输出光经第一转折镜(3)调整传输方向后，通过被测介质(4)，然后再通过第二转折镜(5)调整传输方向后，入射至汇聚镜(6)；经过汇聚镜(6)后，平行光转换为汇聚光；汇聚光输入波前检测单元(9)；控制单元(10)控制波前检测单元(9)工作，并计算入射波前相位信息；所述的波前检测单元(9)包含波前接收模块(9‑S)；所述的波前接收模块(9‑S)是波前传感器模块，或干涉仪模块；所述的光源单元(1)包括光源(1‑1)和可调衰减器(1‑3)；所述的光源(1‑1)是光纤耦合输出光源；所述的光源(1‑1)输出光输入可调衰减器(1‑3)，对输出光功率进行调节后，耦合入传输光纤(1‑O)；所述的准直单元(2)的输入端位于准直透镜(2‑2)的焦点上；所述的传输光纤(1‑O)是单模光纤或保偏光纤。