[发明专利]金属掩膜板的仿真方法和装置有效
| 申请号： | 201810834158.7 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN109002623B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 白珊珊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/23 | 分类号： | G06F30/23;G06F119/14 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张京波;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种金属掩膜板的仿真方法和装置。金属掩膜板的仿真方法包括：将金属掩膜板的蒸镀区域划分成叠设的n层板状模型，n为2～6；将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果。本发明通过将金属掩膜板划分成多个板状模型，使得所构建的模型充分考虑到金属掩膜板上开口的异形结构，因而能够准确的模拟金属掩膜板的真实结构，极大地节约了设计成本，缩短了产品开发周期，能够得到精确的模拟结果，可以用于指导金属掩膜板设计和张网工艺设计。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 掩膜板 仿真 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种金属掩膜板的仿真方法，其特征在于，包括：将金属掩膜板的蒸镀区域划分成叠设的n层板状模型，n为2～6；将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果。
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