[发明专利]双面曝光机及双面曝光方法在审
| 申请号： | 201810836041.2 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN108897197A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 汪孝军;廖平强;张胜 | 申请（专利权）人： | 中山新诺科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘培培 |
| 地址： | 528437 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双面曝光机及双面曝光方法，双面曝光机包括安装架；相对设置的第一曝光组件和第二曝光组件、且均能够沿安装架移动；及均能够沿安装架移动的第一装载台和第二装载台。双面曝光方法应用于双面曝光机。通过第一曝光组件和第二曝光组件的设置，在第一运动状态时形成第一曝光区，第一装载台在第一曝光区移动并进行第一待曝光件的曝光，同时，第二装载台装载第二待曝光件，第二运动状态时形成第二曝光区，第二装载台在第二曝光区移动并进行第二待曝光件的曝光，同时，第一装载台卸载或装载下一个第一待曝光件，不仅无需翻转即可实现正反面曝光，同时，充分利用曝光过程的时间，提高曝光效率，并利于实现自动化操作。 | ||
| 搜索关键词： | 装载台 曝光 双面曝光机 曝光组件 曝光区 双面曝光 安装架 移动 运动状态 装载 自动化操作 曝光过程 曝光效率 相对设置 正反面 翻转 卸载 | ||
【主权项】：
1.一种双面曝光机，其特征在于，包括：安装架；曝光机构，所述曝光机构包括相对设置的第一曝光组件和第二曝光组件，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件均能够沿所述安装架移动；及装载机构，所述装载机构包括第一装载台和第二装载台，所述第一装载台和所述第二装载台均能够沿所述安装架移动；所述第一曝光组件和所述第二曝光组件在第一运动状态时形成第一曝光区，所述第一装载台在所述第一曝光区移动、并进行曝光；所述第一曝光组件和所述第二曝光组件在第二运动状态时形成第二曝光区，所述第二装载台在所述第二曝光区移动、并进行曝光。
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