[发明专利]用于制造多个激光二极管的方法和激光二极管有效
申请号: | 201810844261.X | 申请日: | 2018-07-27 |
公开(公告)号: | CN109309340B | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 斯文·格哈德 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01S5/02 | 分类号: | H01S5/02;H01S5/22 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 丁永凡;张春水 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提出一种用于制造多个激光二极管(1)的方法,具有如下方法步骤:在复合件(20)中提供多个激光棒(2),其中激光棒(2)分别包括多个彼此并排设置的激光二极管元件(3),并且激光二极管元件(3)具有共同的衬底(4)和各一个设置在衬底(4)上的半导体层序列(5),并且分别在两个相邻的激光棒之间伸展的纵向分离线(y‑y’)处分割复合件(20),致使构成要制造的激光二极管(1)的激光器棱面(1C);在至少一个纵向分离线(y‑y’)处结构化复合件(20),其中在纵向分离线(y‑y’)处将应变的补偿层(8)施加到半导体层序列(5)上,和/或至少部分地移除半导体层序列。此外提出一种激光二极管(1),所述激光二极管能借助该方法制造。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 激光二极管 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于制造多个激光二极管(1)的方法,所述方法具有如下方法步骤:‑在复合件(20)中提供多个激光棒(2),其中所述激光棒(2)分别包括多个彼此并排设置的激光二极管元件(3),并且所述激光二极管元件(3)具有共同的衬底(4)和各一个设置在所述衬底(4)上的半导体层序列(5),并且其中分别在纵向分离线(y‑y’)处分割所述复合件(20),致使构成要制造的所述激光二极管(1)的激光器棱面(1C),其中所述纵向分离线在两个相邻的激光棒(2)之间伸展,‑在至少一个纵向分离线(y‑y’)处结构化所述复合件(20),其中在所述纵向分离线(y‑y’)处将应变的补偿层(8)施加到所述半导体层序列(5)上,和/或至少部分地移除所述半导体层序列(5)。
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