[发明专利]阵列基板及其制造方法、显示面板和显示装置

摘要

本发明公开了一种阵列基板及其制造方法、显示面板和显示装置，包括：提供一基板；图案化形成第一栅极金属和第二栅极金属；形成栅极绝缘层；图案化有源层和欧姆接触层形成第一有源层和第二有源层、第一欧姆接触层和第二欧姆接触层；图案化第一透明导电层形成像素电极和保护层；形成第二金属层；图案化第二金属层形成第一源极金属、第一漏极金属、第二源极金属和第二漏极金属；图案化第二欧姆接触层，暴露出第二有源层；图案化第二绝缘层形成第一过孔和第一镂空部；图案化第二透明导电层至少形成公共电极、和连接端，同时图案化保护层。压力传感器和开关组件可以同时使用非晶硅工艺制造，压力传感器中保留第一欧姆接触层。

主权项

1.一种阵列基板的制造方法，其特征在于，包括：提供一基板；在所述基板上形成第一金属层，图案化所述第一金属层形成第一栅极金属和第二栅极金属；在所述第一金属层远离所述基板的一侧形成栅极绝缘层；在所述栅极绝缘层远离所述基板的一侧形成有源层和欧姆接触层；图案化所述有源层和所述欧姆接触层形成第一有源层和第二有源层、第一欧姆接触层和第二欧姆接触层，在第一方向上，所述第一栅极金属、所述第一有源层和所述第一欧姆接触层依次堆叠，所述第二栅极金属、所述第二有源层和所述第二欧姆接触层依次堆叠，所述第一方向为垂直于所述基板的方向；在所述欧姆接触层远离所述基板的一侧形成第一透明导电层；图案化所述第一透明导电层形成像素电极和保护层，所述保护层位于所述第一欧姆接触层远离所述基板的一侧；在所述第一透明导电层远离所述基板的一侧形成第二金属层；图案化所述第二金属层形成第一源极金属、第一漏极金属、第二源极金属和第二漏极金属，在平行于所述基板的方向上，所述保护层位于所述第一源极金属和所述第一漏极金属之间，且所述第二欧姆接触层位于所述第二源极金属和所述第二漏极金属之间，所述像素电极和所述第二源极金属或所述第二漏极金属电连接；图案化所述第二欧姆接触层，暴露出所述第二有源层；在所述第二金属层远离所述基板的一侧形成第二绝缘层；图案化所述第二绝缘层形成第一过孔和第一镂空部，所述第一过孔暴露出所述第一源极金属和所述第一漏极金属，所述第一镂空部暴露出所述第一透明导电层；在所述第二绝缘层远离所述基板的一侧形成第二透明导电层，所述第二透明导电层通过所述第一过孔和所述第一源极金属和所述第一漏极金属电连接；图案化所述第二透明导电层至少形成公共电极、和与所述第一源极金属和所述第一漏极金属电连接的连接端，同时图案化所述保护层；所述第一栅极金属、所述第一有源层、所述第一欧姆接触层、所述第一源极金属和所述第一漏极金属形成压力传感器的至少部分结构，所述第二栅极金属、所述第二有源层、所述第二源极金属和所述第二漏极金属形成开关组件的至少部分结构。