[发明专利]高密度ITO靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201810851299.X | 申请日： | 2018-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN108911707A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 黄岩;丁迎春;钱政宇 | 申请（专利权）人： | 常州苏晶电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高密度ITO靶材的制备方法，以高纯铟、四氯化锡为原料，将铟溶解于硝酸，生成In(NO3)3，将四氯化锡溶于蒸馏水，然后分别和氨水反应后生成In(OH)3和Sn(OH)4沉淀，将两种沉淀物老化、过滤、充分混合、清洗后煅烧后得到ITO粉末，然后将加入适量分散剂和粘合剂的ITO粉末研磨、造粒，预压成型，再经过冷等静压，然后在低压氧氛煅烧炉中烧结成ITO靶材。由于本发明保证了制备的ITO粉末的组分和粒径高度均匀，有利于后续烧结性能良好，用这种ITO粉末以及本专利制备ITO靶材的方法，得到的烧结体成分和晶粒结构均匀，含氧量和密度高。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 高密度ITO靶材 四氯化锡 蒸馏水 氨水 充分混合 晶粒结构 冷等静压 烧结性能 预压成型 含氧量 粘合剂 烧结 研磨 低压氧 分散剂 高纯铟 烧结体 煅烧炉 硝酸 粒径 造粒 煅烧 沉淀 过滤 清洗 溶解 老化 保证 | ||
【主权项】：
1.一种高密度ITO靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：a.将铟粒与硝酸混合，反应后得到混合溶液，向溶液中加入氨水，反应得到白色沉淀物氢氧化铟，将氢氧化铟老化、过滤、清洗、干燥；b.将四氯化锡溶液和氨水反应，得到絮状沉淀物氢氧化锡，将氢氧化锡老化、过滤、清洗、干燥；c.将以上两种沉淀物混合，按氢氧化铟：氢氧化锡的质量比9：1，清洗、干燥、充分研磨混合；d.将研磨后的粉末煅烧后得到ITO粉末；e.将ITO粉末、蒸馏水、聚羧酸类分散剂、蜡基粘合剂混合研磨后得到浆液，所得浆液用喷雾干燥法干燥；f.将干燥后的ITO粉末装入模具预压成型，然后再用冷等静压机压制成ITO靶材胚料；g.脱脂去除上述胚料中的分散剂、粘合剂，然后在低压氧氛煅烧炉内煅烧成ITO烧结体，机加工成型后得到ITO靶材。
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