[发明专利]泵装置、处理液供给装置、基板处理装置、排液方法以及液体置换方法

摘要

在腔室上形成有与积存部连通的至少三个开口、即第一开口、第二开口、第三开口。第二开口位于比第一开口高的位置。第三开口用于：通过从第一开口向积存部内导入气体，或者，通过从第三开口以外的两个开口中的至少任一个开口向积存部内导入气体，来排出积存部内的液体。第三开口在三个开口中位于最低的位置，因此，能够容易地排出容纳于积存部的液体。

主权项

1.一种泵装置，用于输送液体，其中，该泵装置包括：腔室，具有积存部和与所述积存部相接的可动构件，该积存部为容纳液体的内部空间，通过使所述可动构件位移，来使所述积存部的容积变化；驱动部，使所述可动构件位移，所述腔室形成有与所述积存部连通的至少三个开口、即第一开口、第二开口、第三开口，所述第二开口位于比所述第一开口高的位置，所述第三开口在所述三个开口中位于最低的位置，所述三个开口中的任意两个开口用于：通过与所述可动构件的位移联动地控制液体的流通，向所述积存部内吸引液体和从所述积存部送出液体的通常的送液，所述第三开口用于：通过从其他两个开口中的至少任一个开口向所述积存部内导入气体，排出所述积存部内的液体。