[发明专利]一种传感器装置

摘要

本发明涉及由压力传感器芯片构成，具有较强过载能力的传感器装置，特别是适于质量、重量、压力、触力、脉搏、血压、物体抵触力、磁力抵触微位移、磁致伸缩、磁力检测，精密控制等领域的微机械传感器装置,其中，所述力传递部件至少包括：承力端、弹性元件和至少两个串联的球形元件，所述串联的球形元件设有预订的硬度，其中，一个球形元件朝向所述的弹性膜片部分,一个球形元件朝向所述的承力端；所述弹性元件至少包括：橡胶发泡材料、硅胶发泡材料、包含橡胶的发泡材料或包含硅胶的发泡材料中的一种；所述弹性元件还适于抵触所述的弹性膜片部分，或者，所述弹性元件还适于布置在所述的弹性膜片部分上。

主权项

1.一种传感器装置，包括：压力传感器芯片，该压力传感器芯片包括弹性膜片部分、支撑弹性膜片部分的基体或框体部分，所述弹性膜片部分适于受到外部输入力或抵触运动时变形，并将变形量或外部输入力转换成电信号，力传递部件，该力传递部件适于承接外部输入力，并向所述弹性膜片部分方向移动，直接或间接地抵触所述弹性膜片部分，壳体，该壳体至少适于布置压力传感器芯片、力传递部件，其特征在于：所述力传递部件至少包括：承力端、弹性元件和至少两个串联的球形元件，所述串联的球形元件设有预订的硬度，其中，一个球形元件朝向所述的弹性膜片部分,一个球形元件朝向所述的承力端。