[发明专利]成膜装置、成膜方法及有机EL显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201810859611.X | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN109837519B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 石井博;柏仓一史 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 朱龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的成膜装置包含基板保持单元和静电吸盘，所述基板保持单元包含用于支承基板的周缘部的支承部，所述静电吸盘设置于所述支承部的上方并用于吸附基板，所述支承部包含设置于第一方向的第一支承部件和以与所述第一支承部件相对的方式设置于所述第一方向的第二支承部件，所述第一支承部件支承基板的支承力与所述第二支承部件支承基板的支承力不同。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 有机 el 显示装置 制造 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，用于经由掩模在基板上进行成膜，其中，包含：基板保持单元，所述基板保持单元包含用于支承基板的周缘部的支承部；以及静电吸盘，所述静电吸盘设置在所述支承部的上方，用于吸附基板，所述支承部包含设置于第一方向的第一支承部件、和以与所述第一支承部件相对的方式设置于所述第一方向的第二支承部件，所述第一支承部件支承基板的支承力与所述第二支承部件支承基板的支承力不同。
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