[发明专利]一种检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 201810866025.8 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN108917626A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;杨乐;马砚忠;张朝前 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凯 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种检测装置及检测方法，利用所述检测装置对所述待测样品进行检测时，可以通过物镜切换装置对第一探测装置和第二探测装置的切换，实现对所述待测样品的高度信息和结构信息的获取，在这个过程中无需将待测样品在检测装置之间转移，不仅避免了在转移所述待测样品的过程中可能造成的污染，降低了待测样品在检测过程中被污染的概率，而且无需重复进行待测样品的待检测区域的确定，提升了待测样品的检测速度。 | ||
| 搜索关键词： | 待测样品 检测 检测装置 探测装置 种检测 物镜切换装置 待检测区域 高度信息 结构信息 污染 重复 概率 申请 | ||
【主权项】：
1.一种检测装置，其特征在于，包括：承载平台，用于承载待测样品；光源装置，所示光源装置用于出射探测光线；第一探测装置，所述第一探测装置用于接收所述探测光线，并形成第一测量光和第一参考光，所述第一测量光经待测样品反射后与第一参考光发生干涉；第二探测装置，所述第二探测装置用于将所述探测光线汇聚至所述待测样品表面，形成第二测量光；物镜切换装置，用于对所述第一探测装置或所述第二探测装置进行切换，使所述第一探测装置或所述第二探测装置处于光路中；测量设备，用于根据经所述待测样品反射回的第一测量光和第一参考光获取所述待测样品的高度信息，并根据所述第二测量光获取待测样品的结构信息。
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