[发明专利]用于能变化地影响射线束的波前的设备

摘要

本发明涉及一种用于能变化地影响射线束的波前的设备，其具有反射式或透射式的平面光学器件(1)和调节和保持装置(2)，该调节和保持装置经由至少三个弹性的保持压板(2.3)与平面光学器件(1)连接，使得能够经由至少一个布置在调节和保持装置(2)中的调节元件(2.4)将力导入到其中至少一个保持压板(2.3)中，这些力由于保持压板(2.3)在其作用方向上变弯而转向，使得这些保持压板在平面光学器件(1)的周面(1.3)上造成了其作用方向(RA)平行于平面光学器件(1)的对称轴线(A)的力，从而使平面光学器件(1)可以有针对性地发生变形。

主权项

1.一种用于能变化地影响射线束的波前的设备，所述用于能变化地影响射线束的波前的设备具有反射式或透射式的平面光学器件(1)以及调节和保持装置(2)，所述平面光学器件具有前侧(1.1)、背侧(1.2)和围绕对称轴线(A)的柱体形的周面(1.3)，其特征在于，所述调节和保持装置(2)同轴于所述平面光学器件(1)地布置并且包括载体(2.1)、具有共同的对称轴线(B)的托座单元(2.2)和至少三个弹性的保持压板(2.3)，其中，所述载体(2.1)具有柱体形的第一载体周面(2.1.1)和柱体形的第二载体周面(2.1.2)，所述柱体形的第一载体周面和所述柱体形的第二载体周面彼此间具有垂直的、限界出凹部(2.1.0)的间距(a)并且具有与所述平面光学器件(1)的周面(1.3)相同的直径，所述托座单元(2.2)围绕所述载体(2.1)并且与所述载体固定连接地布置，所述至少三个弹性的保持压板(2.3)分别具有平行于共同的对称轴线(B)延伸的纵向轴线(2.3.0)，并且分别以第一端部(2.3.1)固定地安置在所述周面(1.3)上，并且以第二端部(2.3.2)固定地安置在所述柱体形的第二载体周面(2.1.2)上并贴靠在所述第一载体周面(2.1.1)上，并且给所述至少三个弹性的保持压板(2.3)中的至少一个保持压板配属了布置在所述托座单元(2.2)中的调节元件(2.4)，借助所述调节元件能够使所配属的保持压板(2.3)在与间距(a)相等的长度上垂直于其纵向轴线(2.3.0)地弯曲。