[发明专利]一种碳化硅晶体的制备方法有效
| 申请号： | 201810878368.6 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN110791810B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 张锐;范冰冰;魏盛楠;宋勃震;邵刚;王海龙;刘雯;卢红霞;许红亮;陈德良 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B1/10 |
| 代理公司： | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人： | 周新楣 |
| 地址： | 450001 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种碳化硅晶体的制备方法，属于碳化硅的制备技术领域。本发明的碳化硅晶体的制备方法，包括以下步骤：提供由非晶态二氧化硅包裹碳源前驱体与水组成的混合体系；所述混合体系中非晶态二氧化硅包裹碳源前驱体与水的质量比为100:8～11；将所述混合体系压制成型制成坯体；将所述坯体埋入石英砂中进行微波烧结合成，即得。本发明的碳化硅晶体的制备方法，通过将含一定水分的坯体埋入石英进行微波烧结，由于微波场中的热效应和非热效应，提高了局部分子的活性，从而能够降低开始生成碳化硅的温度，缩短微波烧结时间，降低微波烧结能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体 制备 方法 | ||
【主权项】：
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