[发明专利]用于制造具有两个基板的检测装置的方法及该检测装置

摘要

本发明涉及一种制造用于检测电磁辐射的装置(1)的方法。该方法包括以下步骤：提供第一基板(400)，所述第一基板(400)包括读出电路(340)、至少两个第一接触插塞(343，344)和围绕第一接触插塞(343，344)的至少一个第一环形接合元件(345)；提供第二基板，所述第二基板包括帽盖(210)、环形侧壁和检测结构(100)，环形侧壁与帽盖(210)形成腔室，腔室中填充有牺牲材料，检测结构(100)容置在所述腔室中。该方法进一步包括如下步骤：将第二基板(200)接合在第一基板(400)上；在第二基板(200)中布置至少一个开口(212)；选择性地去除牺牲材料；在至少初级真空下封闭所述开口(212)。

主权项

1.用于检测电磁辐射的装置(1)的制造方法，所述方法包括以下步骤：‑提供第一基板(400)，所述第一基板集成读出电路(340)并且包括第一表面和第二表面，所述第一基板(400)进一步包括连接到所述读出电路(340)的至少两个第一接触插塞(343，344)和围绕所述第一接触插塞(343，344)的至少一个第一环形接合元件(345)，所述第一接触插塞(343，344)和所述第一环形接合元件(345)各自至少部分地暴露在所述第一基板的所述第一表面上；‑提供第二基板(200)，所述第二基板(200)包括：o所述第二基板(200)的第一表面和所述第二基板(200)的第二表面，o至少一个检测结构(100)，所述至少一个检测结构(100)用于检测电磁辐射并且设置有至少两个连接臂(151，152)，每个连接臂通过与一个相应的第一接触插塞(343，344)互补的第二接触插塞(153，154)延伸，o牺牲材料，所述牺牲材料包围所述检测结构(100)、所述第一连接臂(151)和所述第二连接臂(152)，o帽盖(210)，所述帽盖(210)包括所述第二基板(200)的所述第一表面，o从所述帽盖延伸的至少一个环形侧壁(220)，所述环形侧壁(220)与所述帽盖(210)形成容置所述检测结构和所述牺牲材料的腔室(235)，所述环形侧壁(220)在与所述帽盖(210)相对的一个端部上设置有与所述第一环形接合元件(345)互补的第二环形接合元件(245)，其中，所述第二接触插塞(153，154)和所述第二环形接合元件(245)各自至少部分地暴露在所述第二基板(200)的所述第二表面上；‑通过将所述第二环形接合元件(245)接合在所述第一环形接合元件(345)上并将所述第一接触插塞(343，344)接合在所述第二接触插塞(153，154)上，将所述第二基板(200)的所述第二表面接合在所述第一基板(400)的所述第一表面上；‑在所述第二基板(200)中布置至少一个开口(212)；‑选择性地去除所述牺牲材料；‑在至少初级真空下封闭所述开口(212)，由此形成用于检测电磁辐射的所述装置(1)。