[发明专利]光图像计测装置在审
| 申请号： | 201810885167.9 | 申请日： | 2018-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN109459414A | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 大泽贤太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45;G01N15/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种不使用宽带光源、能够以小型且低价的结构高速实施测量的光图像计测装置。本发明的光图像计测装置具备将光源所射出的光分支成信号光和参照光的光分支部，在光源与上述光分支部之间配置对上述光源所射出的光的光轴的角度进行扫描的光扫描部。 | ||
| 搜索关键词： | 光图像计测装置 光源 分支部 射出 光扫描部 宽带光源 光分支 信号光 光轴 扫描 测量 配置 | ||
【主权项】：
1.一种光图像计测装置，其取得测量对象的图像，上述光图像计测装置的特征在于，具备：射出光的光源；将上述光源射出的光分支成信号光和参照光的光分支部；配置于上述光源与上述光分支部之间，扫描上述光源所射出的光的光轴的角度的光扫描部；通过将从上述测量对象反射的上述信号光和上述参照光合并而生成干涉光的干涉光学系；以及检测上述干涉光的光检测器。
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