[发明专利]光刻机光瞳校正器及其使用方法在审
| 申请号： | 201810895283.9 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN108983559A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 朱思羽;张方;曾宗顺;马晓喆;程伟林;曾爱军;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光刻机光瞳校正器及其使用方法，其构成包括滤光元件和致动元件，每个致动元件与至少一个滤光元件相结合，所述的滤光元件是可折叠的，借助所述的致动元件在光瞳面内多维度运动。所述的滤光元件包括固定机构、牵引机构，以及连接在所述的固定机构和牵引机构之间的挡光机构，所述的固定机构和牵引机构至少一个与所述的致动元件相结合。在本发明光刻机光瞳校正器使用方法中，通过调整所述滤光元件在光瞳面内的位置，改变能量衰减百分比，将光瞳特性参数校正至满足要求的范围内，从而实现对光瞳能量分布平衡性的校正。 | ||
| 搜索关键词： | 滤光元件 致动元件 光瞳 固定机构 牵引机构 光刻机 校正器 光瞳面 校正 多维度运动 挡光机构 可折叠的 能量分布 能量衰减 特性参数 平衡性 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机光瞳校正器，其特征在于：包括滤光元件(1)和致动元件(2)，每个致动元件(2)与至少一个滤光元件(1)相结合，所述的滤光元件(1)是可折叠的，借助所述的致动元件(2)在光瞳面内多维度运动。
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