[发明专利]RPVD绿色镀膜工艺有效
| 申请号： | 201810897720.0 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN108914069B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 卢小伟 | 申请（专利权）人： | 宁波威霖住宅设施有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 315722 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种RPVD绿色镀膜技术，包括以下步骤：步骤一、对金属基体进行抛光或拉丝；步骤二、对金属基体进行除蜡、除油、除锈清洗；步骤三、将清洗后的工件转入真空炉内，抽气至本底真空后进行辉光清洗或离子源清洗，然后依次采用离子镀沉积第一金属铬层，采用中频磁控溅射沉积第二金属铬层，采用中频磁控溅射沉积CrMe层，采用中频反应溅射沉积CrC/MeC层；步骤四、沉积完成后，将工件出炉；步骤五、工件降温至室温后，表面进行喷透明漆/粉处理。本发明将四步沉积相结合，在金属基体表面通过较短时间形成厚度及颜色均匀的黑色涂层，易控制，生产工艺稳定，良品率高，能够满足没有废水排放的要求，达到环境友好的积极效果。 | ||
| 搜索关键词： | rpvd 绿色 镀膜 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种RPVD绿色镀膜技术，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、对金属基体进行抛光或拉丝；步骤二、对金属基体进行除蜡、除油、除锈清洗；步骤三、将清洗后的工件转入真空炉内，抽气至本底真空后进行辉光清洗或离子源清洗，然后依次采用离子镀沉积第一金属铬层，采用中频磁控溅射沉积第二金属铬层，采用中频磁控溅射沉积CrMe层，采用中频反应溅射沉积CrC/MeC层，其中，Me为Ti、Al、Si中的一种或几种；步骤四、沉积完成后，关闭系统，待炉内降温至100℃以下后通入空气，开炉腔门，将工件出炉；步骤五、工件出炉降温至室温后，对工件表面进行喷透明漆/粉处理。
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