[发明专利]枚叶水平输送式之晶圆去膜清洗装置及其清洗方法

摘要

本发明公开了枚叶水平输送式之晶圆去膜清洗装置及其清洗方法，该装置包括：底座支架、原料箱、传动机构、第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽、第四清洗槽、底座和控制按钮，第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽、第四清洗槽设于底座上，第一清洗槽位于第二清洗槽后端，所述第二清洗槽位于第三清洗槽后端，第三清洗槽位于第四清洗槽后端，所述传动机构通过支架固定于底座上端，底座下端设有底座支架，原料箱设于底座上端面一侧，控制按钮设于底座上端面一侧。本发明产能大，单机生产的效率高，降低企业设备购置和维护成本，利用枚叶水平输送方式，避免了晶圆与清洗液的过于接触导致清洗液对其腐蚀的情况，提高产品的良品率。

主权项

1.枚叶水平输送式之晶圆去膜清洗装置，包括：底座支架(1)、原料箱(2)、传动机构(3)、第一清洗槽(4)、第二清洗槽(5)、第三清洗槽(7)、第四清洗槽(8)以及底座(6)，其特征在于，所述第一清洗槽(4)、第二清洗槽(5)、第三清洗槽(7)、第四清洗槽(8)设于底座上，所述第一清洗槽(4)位于第二清洗槽(5)后端，所述第二清洗槽(5)位于第三清洗槽(7)后端，所述第三清洗槽(7)位于第四清洗槽(8)后端，所述传动机构(3)通过支架固定于底座(6)上端，所述底座(6)下端设有底座支架(1)，所述原料箱(2)设于底座(6)上端面一侧；所述原料箱(2)包括：原料箱外壳(21)、第一清洗液箱开口盖(22)、原料箱开口盖(23)、第二清洗液箱开口盖(24)、水箱开口盖(25)、第一清洗液箱(28)、第二清洗液箱(27)以及水箱(26)，所述第一清洗液箱(28)、第二清洗液箱(27)以及水箱(26)皆安装于原料箱外壳(21)内部，所述第一清洗液箱开口盖(22)安装于第一清洗液箱(28)上端，所述第二清洗液箱开口盖(24)安装于第二清洗液箱(27)上端，所述水箱开口盖(25)安装于水箱(26)上端，所述原料箱开口盖(23)安装于原料箱外壳(21)上端；所述第一清洗液箱(28)装有较旧光阻剥离剂，所述第二清洗液箱(27)装有较新鲜光阻剥离剂；所述传动机构(3)包括：第一皮带轮(31)、电机输出轴承(32)、电机固定架(33)、第一皮带(34)、第一驱动轴承(35)、第一驱动轮(36)、第二皮带轮(37)、传动链条(38)、第二驱动轴承(39)、第二驱动轮(310)、第三皮带轮(311)、第二皮带(312)、从动轴承(313)、第四皮带轮(314)、第三皮带(315)、电机(316)、机爪(317)、支撑轮(318)以及约束轮(319)，所述第一驱动轮(36)、第二驱动轮(310)、支撑轮(318)以及约束轮(319)通过支撑架固定于底座(6)上，所述第一驱动轮(36)、第二驱动轮(310)、支撑轮(318)以及约束轮(319)通过传动链条(38)连接，所述机爪(317)均匀安装于传动链条(38)上，所述电机(316)通过电机固定架(33)固定于底座(6)内部，所述第一驱动轴承(35)上安装有第一驱动轮(36)以及第二皮带轮(37)，所述第二驱动轴承(39)上安装有第二驱动轮(310)以及第三皮带轮(311)，所述第一皮带轮(31)安装于电机输出轴承(32)上，所述第二皮带轮(37)安装于第一驱动轴承(35)末端，所述第一皮带轮(31)与第二皮带轮(37)通过第一皮带(34)连接，所述第一皮带轮(31)与第四皮带轮(314)通过第三皮带(315)连接，所述第四皮带轮(314)安装于从动轴承(313)上，所述从动轴承(313)安装于底座(6)内部，所述第三皮带轮(311)安装于第二驱动轴承(39)末端，所述第三皮带轮(311)与第四皮带轮(314)通过第二皮带(312)连接；所述第一皮带轮(31)以及第四皮带轮(314)皆为有两个皮带槽的皮带轮；所述第四清洗槽(8)包括：原料输入开关(81)、输入管道(82)、原料箱(2)、清洗槽(83)、输出管道(84)以及原料输出开关(85)，所述输入管道(82)一端连接清洗槽(83)一侧，所述输入管道(82)另一端连接原料箱(2)下端，所述原料输入开关(81)位于原料箱(2)与清洗槽(83)之间且穿过输入管道(82)，所述输出管道(84)一端位于清洗槽(83)下端，所述输出管道(84)另一端位于底座(6)外侧，所述原料输出开关(85)位于底座(6)外侧与清洗槽(83)之间且穿过输出管道(84)；所述第二清洗槽(5)、第三清洗槽(7)结构与第四清洗槽(8)结构相同，所述第二清洗槽(5)输入管道连接原料箱(2)的水箱(26)，所述第三清洗槽(7)输入管道连接原料箱(2)的第二清洗液箱(27)，所述第四清洗槽(8)输入管道(82)连接原料箱(2)的第一清洗液箱(28)；所述第一清洗槽(4)包括：第一清洗槽输入管道(41)、原料箱(2)、第一清洗槽原料输入开关(42)、喷头(43)、第一清洗槽槽壳(44)、第一清洗槽输出管道(45)以及第一清洗槽原料输出开关(46)，所述第一清洗槽输入管道(41)一端安装有喷头(43)，所述第一清洗槽输入管道(41)另一端安装于原料箱(2)下端，所述第一清洗槽输入管道(41)有喷头的一端安装与第一清洗槽槽壳(44)一侧，所述第一清洗槽原料输入开关(42)安装于第一清洗槽输入管道(41)上且位于原料箱(2)与第一清洗槽槽壳(44)之间，所述第一清洗槽输出管道(45)一端位于第一清洗槽槽壳(44)下端，所述第一清洗槽输出管道(45)另一端位于底座(6)外侧，所述第一清洗槽原料输出开关(46)位于底座(6)外侧与第一清洗槽槽壳(44)之间且穿过第一清洗槽输出管道(45)；所述原料箱(2)以及清洗槽皆安装有容量标度计。