[发明专利]感光性树脂组合物、感光性树脂涂层、感光性干膜、层合体和图案形成方法在审
| 申请号： | 201810899848.0 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN109388023A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 丸山仁;近藤和纪 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/16 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杜丽利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明为感光性树脂组合物、感光性树脂涂层、感光性干膜、层合体和图案形成方法。将包含(A)包含具有式(a1)的重复单元和具有式(b1)的重复单元的有机硅树脂、(B)填料和(C)光致产酸剂的感光性树脂组合物涂布至基底上，以形成感光性树脂涂层，所述感光性树脂涂层可以被加工成厚膜形式的精细图案，具有改进的膜性质如耐开裂性并且可靠地作为保护膜。 |
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| 搜索关键词： | 感光性树脂涂层 感光性树脂组合物 感光性干膜 图案形成 层合体 光致产酸剂 有机硅树脂 精细图案 耐开裂性 保护膜 膜性质 厚膜 基底 加工 改进 | ||
【主权项】：
1.感光性树脂组合物，其包含(A)包含具有式(a1)的重复单元和具有式(b1)的重复单元的有机硅树脂、(B)填料和(C)光致产酸剂，![]()
其中，R1至R4各自独立地为C1‑C8一价烃基，m和n各自独立地为0至300的整数，X1为具有式(1)的二价基团:![]()
其中，Y1为单键或选自以下基团的二价有机基团：‑CH2‑、![]()
R11各自独立地为氢或甲基，R12和R13各自独立地为C1‑C4直链、支链或环状的烷基或C1‑C4直链、支链或环状的烷氧基，a各自独立地为0至7的整数，b和c各自独立地为0至2的整数。
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