[发明专利]一种高阻膜及其制备工艺和应用在审
| 申请号： | 201810902043.7 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN109280886A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 肖亮灿;石洁 | 申请（专利权）人： | 滁州盛诺电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 合肥维可专利代理事务所(普通合伙) 34135 | 代理人： | 吴明华 |
| 地址： | 239064 安徽省滁州市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高阻膜，由以下组分组成：氧化锌、氧化锡和氧化铝。本发明公开了一种高阻膜的加工方法和应用。本发明的一种高阻膜，具备抗静电作用，在可见光范围内，具备高透过率，透光率可达到98.5％。该一种高阻膜应用于FPD显示屏上，起到抗静电作用，具备良好的透光性，且不产生屏蔽，不影响器件的触控功能。本发明的一种高阻膜的制备工艺，选用高纯度4N级氧化锡靶材与氧化锌靶材进行镀膜匹配，并使用特殊的镀膜工艺及特殊的退火工艺，得到发明的一种高阻膜，透光率高，附着力强。 | ||
| 搜索关键词： | 高阻 抗静电作用 制备工艺 透光率 氧化锡 氧化锌靶材 可见光 触控功能 镀膜工艺 附着力强 高透过率 退火工艺 影响器件 高纯度 膜应用 透光性 氧化锌 氧化铝 靶材 镀膜 屏蔽 显示屏 匹配 应用 加工 | ||
【主权项】：
1.一种高阻膜，其特征在于，由以下组分组成：氧化锌、氧化锡和氧化铝。
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