[发明专利]一种多级太阳能电池以及制备方法和制备装置

摘要

本发明公开了一种多级太阳能电池以及制备方法、制备装置，其中制备方法包括：对掺硼硅片的进行双面制绒，形成上表面的第一制绒面和下表面的第二制绒面；对所述掺硼硅片的下表面刻蚀多个穿过所述第二制绒面的凹槽；对所述硅掺硼硅片的第一制绒面和第二制绒面进行磷扩散；对所述凹槽设置正极栅线；对所述掺硼硅片的磷扩散区设置减反射膜层；在所述减反射膜层表面设置负电极，在所述凹槽的正极栅线刷铝背场并设置正电极。通过在掺硼硅片的下表面设置多个凹槽进行正面栅线以及正电极的制备，同时在掺硼硅片的上表面和下表面同时存在负电极，使得在电池片形成多个PN结以及双层太阳能电池，增加内建电池，提高电池片的效率。

主权项

1.一种多级太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：对掺硼硅片的进行双面制绒，形成上表面的第一制绒面和下表面的第二制绒面；对所述掺硼硅片的下表面刻蚀多个穿过所述第二制绒面的凹槽；对所述硅掺硼硅片的第一制绒面和第二制绒面进行磷扩散；对所述凹槽设置正极栅线；对所述掺硼硅片的磷扩散区设置减反射膜层；在所述减反射膜层表面设置负电极，在所述凹槽的正极栅线刷铝背场并设置正电极。